2021年9月24日，納諾半導體獲得天使輪融資，金額未透露，投資方為合肥產投、合肥高投、英諾天使基金。
2023年9月6日，納諾半導體獲得數千萬人民幣的A輪融資，投資方為水木創投、英諾天使基金。
合肥市納諾半導體有限公司，自2021年7月在合肥市成立以來，一直深耕于圖形晶圓光學缺陷檢測設備的制造領域。納諾半導體專注于半導體前道缺陷檢測設備的研發，力求打破國外技術壟斷，推動半導體7nm晶圓生產檢測設備的國產化進程。
納諾半導體的目標是為中國的半導體制造行業提供先進的晶圓制造前道檢測技術及解決方案，助力實現獨立自主的發展目標。
納諾半導體的核心研發項目——12寸晶圓7nm缺陷光學檢測設備系統，融合了數學、物理學、光學、自動化、精密機械、AI圖像算法等多個領域的先進技術，體現了納諾半導體在半導體檢測設備領域的深厚實力和創新能力。納諾半導體將持續投入研發，不斷提升產品性能，為中國半導體產業的發展貢獻力量。
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